集成光路：(日)西原浩等著；梁瑞林譯
發(fā)布時間：2024-05-30
本書系統(tǒng)地介紹了光波導(dǎo)及其調(diào)制理論、光波導(dǎo)制作技術(shù)及檢測技術(shù)、集成電路的精細加工技術(shù)等，并收錄了集成光路實例。
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